产品名称：
CCZK-SF磁控溅射镀膜设备

CCZK-SF磁控溅射镀膜设备

腔体结构：立式前开门，卧式前开门。

材质用料：腔体材质为SUS304不锈钢或碳钢

真空系统：扩散泵（可选分子泵）+罗茨泵+机械泵+维持泵（另有深冷泵系统可供选择）

溅射靶材：中心圆柱靶，平面靶，孪生靶等

磁控电源：可配备直流或中频磁控溅射电源

转动系统：变频调速，公自转结合，可根据客户产品和要求设计

膜层结构：单层膜、多层膜

气体控制：气体流量控制仪集成触控操作控制

人机界面：PLC智能控制+全彩HMI触摸屏

操作方式：逻辑全自动方式、半自动方式、手动方式

智能控制：PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现全自动控制

报警及?；ぃ阂斐Ｇ榭鼋斜ň?，并执行相应?；ご胧?。

其他技术参数：

极限真空：5.0×10-4Pa

抽气速率：5.0*10-2≤5min

水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa；

备注：

一般规格：

Φ1000mm*H1200mm，Φ1400mm*H1600mm,Φ1200mm*H1500mm，

Φ1800mm*H2000mm, Φ2000mm*H2200mm

真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做

高级装饰膜层镀膜，塑胶制品（塑料餐具、高级开关面板等），五金产品（镜架、汽车轮毂等），水晶玻璃，手机壳，电子产品等产品镀膜。