驰诚真空光学（电子枪）镀膜机通过电子源（电子枪）产生的高能电子束并在磁场的作用下轰击坩埚中的镀膜材料，通过动能对热能的转换产生高温使得材料溶化并蒸发以获得优秀附着力和光学性能的膜层。
设计装载超大坩埚电子枪，整个蒸发过程中膜料表面平整，蒸发分布均匀。
悉心选用INFICON石英晶振膜厚监测系统，可实现成膜速度和镀膜过程的自动化控制。
设计多功能工件转动方式，可搭载多套穹顶式光学镀膜伞或行星式转架。
采用驰诚工艺制造，精益求精，通过欧盟CE和ISO质量管理体系认证；
CCZK-OGS光学电子枪镀膜设备
腔体结构： 立式前开门，卧式前开门，后置真空获得系统
材质用料：腔体均采用优质不锈钢锻造
制膜种类：光学多层膜，光学增透膜、减反射膜（AR）、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等
转动系统： 变频调速，配备光学镀膜伞和行星式工件转架
电子束蒸发器： 配备大功率E型电子枪
辅助镀膜： 可配备霍尔离子源或 高压离子轰击电源以提高附着力、膜层密度、稳定折射率
加热系统：铠装加热管加热方式，350℃温控PID控制。
真空系统：扩散泵（可选分子泵）+罗茨泵+机械泵+维持泵+深冷系统（可?。?/span>
气体控制： 采用多路气体流量控制仪
膜层监测： 配置采用美国INFICON产石英晶振膜厚仪，可实现膜层参数的储存与自动调用
智能控制： PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现逻辑全自动控制
报警及?；ぃ阂斐Ｇ榭鼋斜ň?，并执行相应?；ご胧?。
其他技术参数：
极限真空： 5.0×10-4Pa
抽气速率： 5.0*10-2≤5min
水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa；
备注：
一般规格： Φ1350*H1350，Φ1600mm*H1500mm,Φ2050mm*H1500mm，
真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做
光学镜头，光学镜片（玻璃、PC等），高级AB彩亚克力，手机钢化玻璃视窗，黄金管（石英红外加热管），滤光片，可镀膜增透膜等各种膜层。
浙公网安备
33030302000888号
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